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“太阳能电池片光伏扩散炉”参数说明
| 产量： | 500 |
“太阳能电池片光伏扩散炉”详细介绍
产品简介
1、关键件全部采用进口件，具有高可靠性。
2、采用进口智能控制器，可输出四个开关量，对炉温、阀门动作进行自动控制，并管理全部工艺时序，可编辑存贮百条工艺曲线。具有高抗干扰能力。
3、具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。
4、具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。
5、控温精度好，温区控温稳定性好。
6、新型炉体设计结构，保证工艺过程中温区温度的快速稳定，更适合于连续性大规模生产。
7、软着陆、闭管式扩散系统更洁净、产品更优质。
适用硅片尺寸：125mmx125mm 156mm×156mm
装片量：400片／管
可配工艺管外径：φ300mm
工作温度范围：600〜1100℃
恒温区长度：600〜1100℃
精度精度：±1℃
单点温度稳定性：600〜1100℃±1℃／24h
升温时间：从室温到900℃＜60min
最大降温速度（1100〜900℃）：5℃／min。
1、关键件全部采用进口件，具有高可靠性。
2、采用进口智能控制器，可输出四个开关量，对炉温、阀门动作进行自动控制，并管理全部工艺时序，可编辑存贮百条工艺曲线。具有高抗干扰能力。
3、具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。
4、具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。
5、控温精度好，温区控温稳定性好。
6、新型炉体设计结构，保证工艺过程中温区温度的快速稳定，更适合于连续性大规模生产。
7、软着陆、闭管式扩散系统更洁净、产品更优质。
适用硅片尺寸：125mmx125mm 156mm×156mm
装片量：400片／管
可配工艺管外径：φ300mm
工作温度范围：600〜1100℃
恒温区长度：600〜1100℃
精度精度：±1℃
单点温度稳定性：600〜1100℃±1℃／24h
升温时间：从室温到900℃＜60min
最大降温速度（1100〜900℃）：5℃／min。
