快捷方式：发布信息| 收藏公司

LED外延用石墨托盘单晶硅石墨托盘多晶硅石墨托盘 SiC石墨盘

产品/服务：
有效期至：	长期有效
最后更新：	2017-10-22 13:03

单价：

面议

立即询价

(发货期限：自买家付款之日起天内发货)

VIP指数: 0 [第1年]
认证信息:
通过认证

所在地区：

人气：191

详细说明
规格参数
联系方式

“LED外延用石墨托盘单晶硅石墨托盘多晶硅石墨托盘 SiC石墨盘”参数说明

是否有现货：	否	认证：	ISO9001
结晶形态：	致密结晶状石墨	成型方式：	等静压石墨
用途：	高温冶金材料	型号：	根据客户实际需求
产量：	1000

“LED外延用石墨托盘单晶硅石墨托盘多晶硅石墨托盘 SiC石墨盘”详细介绍

　　 LED外延用石墨托盘单晶硅石墨托盘多晶硅石墨托盘 SiC石墨盘

石墨托盘是一种用于LED外延晶圆制程的石墨承载盘，包括若干个设置在承载盘上方的晶圆凹槽，用于置放外延晶圆衬底，所述晶圆凹槽的内侧边缘设置有一挡板结构，且所述挡板与晶圆衬底成互补关系，二者以挡板、晶圆衬底的平边为重合边构成大致圆形，所述挡板结构能够减少在外延生长过程晶圆凹槽中的晶圆衬底平边空隙位置，保证晶圆衬底平边温度和气流稳定，从而提高外延晶圆衬底的边缘良率。

上海弘竣实业有限公司生产的半导体外延片生长的CVD石墨托盘采用德国进口石墨,具有更好的稳定性、更长的使用寿命。还可根据客户的要求定制。更好的为半导体厂商服务。

技术1)用于LED外延片加工石墨顶板;2)挡板结构内部晶片边缘休息;3)挡板与晶片衬底到两个层次之间的互补关系;4)保持挡板晶片衬底边缘重合边构成充分循环。

功能1)较低的热膨胀系数2)thermak导电性更好3)稳定的化学perfermance4)更好的耐蚀性5)较强的导电性

规范数量单位体积密度1.85克/立方厘米比电阻11 - 14 uΩm抗压强度90 mpa挠曲强度40 mpa肖氏硬度60灰分500 ppm平均粒度20 um膨胀系数4.5 gte弹性模量11平均绩点