“PUR-TX 高纯气露点变送器”参数说明
品牌: | 英国密析尔 | 输出信号: | 数字型 |
湿敏元件: | 电阻式 | 安装形式: | 在线式 |
型号: | PUR-TX | 规格: | PUR-TX |
产量: | 1000 |
“PUR-TX 高纯气露点变送器”详细介绍
PUR-TX高纯气露点变送器/在线露点仪在很多超纯气应用,诸如半导体工业中,气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来,对湿气的持续追踪测量都是个难点,需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案,用来在线测量露点值,下限低至惊人的-120°C(相当于不到1ppbV)。Pura变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的首个适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。亮点·测量下限-120°C露点(1ppbV1/10亿)·测量稳定,重复性好·高度集成的采样装置·模拟和数字输出·安装简便·VCR过程接口·设计紧凑小巧·显示/报警单元可选技术指标传感器传感器类型密析尔陶瓷湿度传感器量程-120~-40°C露点(校验到-100~-40°C)精度±1°C-40~-60°C;±2°C-61~-100°C;±4°C-101~-120°C(估算值)分辨率0.1°C-40~-79.9°C;1°C-80~-100°C;1~3°C-100~-120°C压力最低10-9torr;最大24MPa气体流量1~5Nl/min电气电源通常24VDC,最低10V~最高28V,最大电流25mA输出4-20mA输出,对应范围可由专用软件调整,调整量程从1~80°C(标配提供)最大负载=100Ω+50Ωx(V电源-8)输出出错状态标准输出出错信息如下:23mA=传感器故障;20mA=超上限;4mA=超下限机械性能传感器套筒不锈钢,0.1-0.2Raµm电镀内抛光气路连接端口Premium或OEM型:¼"mVCR接口PuraSensor型:½"mVCR接口安装配置Premium或OEM型:120.00mm长,气路端口的端面密封.无需预留管路空隙底座上有2个M4x0.7,7mm深的安装孔,斜对面横竖间距均为20x20mmPuraSensor型:适用于用户提供的½"VCR端口中尺寸Premium或OEM型:120x35x150mmPuraSensor型:132x35mm重量Premium或OEM型:450gPuraSensor型:180g包装Pura:双层包装,惰性气体填充密封PuraOEM或PuraSensor型:单层包装所有选配件:独立包装运输Sensor型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作